江蘇微導納米裝備科技有限公司

微導ALD技術助力量產高效太陽能電池轉換效率超越23%
所屬欄目:新聞發布  日期:2020-05-30 15:00:00 點擊次數:

近日,江蘇微導納米科技股份有限公司從全球知名高效太陽能電池制造龍頭企業獲悉,雙方合作的基于原子層沉積(ALD)技術PERC電池產線取得突破性進展: 微導超高產能夸父系列設備生產的超薄(~3nmALD氧化鋁背鈍化新工藝,與前后道新穎工藝技術完美搭配,將產線電池平均效率提升至22.85%,同時,標準產線單班最高產能達五十三萬片以上,單班A級率超過99%ALD背鈍化設備稼動率高達99%,明顯優于相同生產條件下的等離子輔助化學氣相沉積(PECVD)技術。

 微導KF系列原子層沉積設備

微導夸父系列原子層沉積設備

圍繞光伏電池生產降本與轉換效率提升兩大議題,需要對電池表面處理技術與鈍化工藝及產能不斷進行優化。隨著工藝流程、材料和電池結構的不斷創新,可實現超高表面鈍化的鍍膜技術是支撐后PERC時代電池效率的持續攀升的關鍵。ALD技術可在不同表面結構上獲得完美的保形性,且材料選擇具有多樣性,對新型電池技術具有極好的適應性。可以預期,基于微導ALD背鈍化技術的PERC電池量產效率很快將會突破23%,使現階段主流的高效電池技術具有持續的市場競爭優勢。

 

微導祝融系列PEALD設備

2019年在全球市場首次推出批量型PEALD技術,微導創新二合一”PEALD鍍膜設備為當前主流PERC電池提供了高效的背鈍化和蓋膜一體化背膜生產,僅在調試階段就已展現出優良的電池效率表現,現已在客戶端完成PERC電池驗證并全面進入量產階段。尤其是在當前電池片逐漸轉向大尺寸時代,微導ALD技術更顯現出天生優勢——大尺寸襯底上依然可保持原子層級薄膜厚度和鍍膜均勻性。更為重要的是,微導PEALD技術不僅可以保持現有熱ALD材料的鈍化效果和技術優勢,又為下一代電池隧穿氧化和接觸鈍化工藝提供了解決方案,成為當前光伏市場可采用PEALD技術同時實現TOPCon結構的關鍵工藝設備。通過微導PEALD技術制備的隧穿氧化層,片內、片間和批間均勻性均優異(<3%, 隧穿層厚度可精確控制在1-2納米,同時多晶硅層(Poly-Si)無繞鍍并可實現原位磷摻雜。


因此,微導PEALD設備將極大簡化下一代高效電池的生產流程,有效降低生產成本。就在不久前,在客戶與微導的共同努力下,成功實現了基于ALD技術的“TOPCon”電池轉換效率23.5%的可喜成果,成為微導技術創新的又一個里程碑。

 

正如產業權威人士近期所述,光伏產業從“傳統擴充降本的競爭模式已轉向技術制勝的博弈”。微導近年來引領光伏高效電池關鍵裝備和工藝技術不斷創新,通過與廣大客戶量產合作不斷取得行業影響的結果表明,微導ALD技術仍將持續助力量產高效太陽能電池轉換效率超越23%,并成為后PERC時代高效光伏電池的關鍵技術。

?
Copyright?2016 江蘇微導納米科技股份有限公司 版權所有 All Rights Reserved. 蘇ICP備16047353號-1
色护士亚洲,九九视频精品热线16,图片自拍亚洲欧,丁香五月开心六月激情综合视频区,xp123影视偷拍区,国产a级特黄的片子,97青春娱乐网老网站